Vol.35 / 技術專文
Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題,統計陳情案件,以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多,而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質,操作者應思...

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Vol.30 / 技術專文
Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction
製程廢氣處理設備 阻塞改善與保養頻率有效減量
製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生,而需進行預防保養,但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生,使得保養頻率升高,造成人力資源投入與負荷過大,即為異常阻塞事件,因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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