Vol.51 / 技術專文
VOC introduces new technology and moves towards net zero emission of air pollution
VOC導入新技術_邁向空污淨零排放
沸石轉輪濃縮系統作為台機廠區的主要揮發性有機物(VOCs)防制設備,其中其吸附能力為處理效率之關鍵,然而高沸點VOCs會因脫附溫度不足進而隨時間殘留於沸石轉輪中,大部分廠區透過提升脫附溫度來改善此一現象,卻忽略材料...

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Vol.26 / 技術專文
High Boiling VOCs Treatment Techniques for Advanced Process of Semiconductor Plant
先進製程之高沸點揮發性有機物處理技術應用
半導體製程中,最主要的揮發性有機化合物汙染物包含乙醇、異丙醇、丙酮、丁酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、單乙醇胺、雙三甲基矽胺,當中組成後沸點成分高過於150℃的汙染物可稱為高沸點揮發性有機化合物,其對半導體業常用的汙染處理...

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