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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC
智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統
文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |
300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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