發表文章(2)

Vol.51 / 技術專文
The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction
與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用
隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因,空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主,為符合未來法規...

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Vol.39 / 技術專文
Defense Mechanism of Outside Air AMC MeCl2        
外氣AMC MeCl2防禦機制
半導體的線寬越來精細,製程的複雜度越來越高,相對製程良率受外在環境影響的可能性也越來越大,氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC) 一直都是受到關注的對象,也因為製程的...

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