發表文章(2)

Vol.51 / 技術專文
The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction
與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用
隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因,空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主,為符合未來法規...

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Vol.30 / 技術專文
The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率,例行保養(PM)是不可或缺的。然而,有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除,甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象,迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此,本...

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