發表文章(2)

Vol.40 / 技術專文
Improvement and practice of wastewater biological treatment system operation
廢水生物處理系統運轉精進與實務
隨著半導體製程技術演進,製程機台使用的有機化學品用量大增,且單槽式晶圓濕式清洗機台數量增多,此型式機台排水有混排狀況,因此先進製程廠區面臨廢水排放化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)以及氨...

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Vol.23 / 技術專文
Study on New Type of UV in TOC Removal Capability and Operation Benefit in UPW System
新型紫外線裝置對超純水總有機碳去除效率探討及效益分析
近年來半導體技術不斷演進,元件線寬越來越精密,製程環境中微量污染物將影響產品良率,微量有機物之去除是穩定超純水水質、提升良率之關鍵。一般而言,UPW中有機物質常以總有機碳表示,而UV是UPW系統中去除TOC之關鍵角...

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