Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...
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