發表文章(4)

Vol.35 / 新象新知
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
於廠務運轉層面,各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行,如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量,煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中,選...

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Vol.26 / 技術專文
Central Scrubber Improvement Approaches
濕式洗滌塔宿疾改善對策
本文主要探討因應半導體廠氣體特性,將既有廠內排氣中酸鹼處理設備-中央洗滌塔進行改善,嘗試以新思維改善半導體廠排氣中矽微粒堵塞拉西環、菌類生長及因污泥堆積底部而須進行冗長保養程序之中央洗滌塔宿疾,並針對未攔截水量、塔...

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銀筆獎
Vol.22 / 技術專文
Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善,將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣,嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量,並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證,供後...

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Vol.10 / 新象新知
Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan
仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術
仿生學,一種透過觀察、研究、學習之後,將自然界中生物的各種特殊本領,包括生物本身的特殊結構、原理、行為,甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術,提供新的設計概念的技術...

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