隨著製成世代的進步，半導體晶圓製程的線徑也越來越小，但化學品使用量卻越來越多種多樣，本文著重於有使用異丙醇(IPA)的機台其IPA的洩漏改善，由作業觀察到設備的改善活動CIT(Continual Improvement ...

廠務設備數量龐大且遍布整個廠區，僅靠傳統人力巡檢的管理模式，已無法完整涵蓋現今的工廠運作，當廠區規模為超大晶圓廠(GigaFAB)，更是需要投入大量人力；為此，導入巡檢機器人於廠房設備之日常運作，並針對廠區水、電、...