TSMC 廠務季刊

2014.9, Vol.15 / 技術專文

Airborne Molecular Contamination Monitoring Technology for New Fab Cleanroom Construction

新建廠潔淨室氣態分子汙染監控技術之應用實務

文 | 黃裕欣 | 李建國 | 蘇鈺洲 | 十四廠七期新建工程專案 |

本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要污染物氨(NH3)和總有機碳(TOC)，如何應用監控儀器配合各種空氣分子汙染(Airborne molecular contamination, AMC)之去除設備...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Power Signature Analysis and Application

電力負載電紋特徵辨識技術應用探討

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

本文主要是探討電力電紋特徵辨識技術如何應用於電力監控，提供電器設備使用狀況、使用者用電行為及提供各種智慧與電能管理，並瞭解其應用關鍵技術及未來可能發展功能。目前半導體晶圓廠電力監控系統架構雖能瞭解用電分佈，但仍無...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Performance-based Design and Safety Monitoring of Hi-Tech Fabs

科技廠房之性能設計與安全監測

文 | 王彥博 | 國立交通大學土木工程系 |

本文主要探討科技廠房的震害原因，提出科技廠房耐震設計的策略，並介紹結構健康監測的概念與願景，盼能將這些具有實用價值的研究成果從state-of-the-art 推向state-of-the-practice之境界，...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Design and Implementation for Construction Site Remote Monitoring System

新建工程遠端監控系統規劃與應用

文 | 宋思賢 | 新廠營建部 | 王翔昱 | 新廠規劃部 |

本文內容主要探討如何為建廠工程專案設計及架構一套遠端監控系統(Remote Monitoring System )，我們稱之為iVision，目的是要提升專案人員的工程管理效率。從過去傳統施工管理的比較開始，並佐以...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

Natural Disaster Alert Platform

天災預警平台

文 | 李豐豪 | 三廠廠務部 | 蕭博戎 | 三廠廠務部 | 蕭文豐 | 十二廠四/五期廠務工程專案 |

近年地球暖化造成各地天災不斷，而有些天災的影響範圍非常大，如冰島的艾雅法拉火山爆發、日本地震造成的輻射外洩、中國沙塵暴等，都對世界各地人的生活、交通及經濟造成不小的影響，天災無法阻止，但若可以提早得知做好預防則可以...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Exhaust Monitoring System Study and Design

廠務排氣監控系統探討與設計

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統，必須考量許多因素以符合各項運轉需求，如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等，故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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