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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Optimization of Hydrogen Peroxide Concentration Measurement in Slurry Supply System
化學研磨液供應系統H2O2濃度測量優化
文 | 潘明楷 | 台中廠務二部 |
本篇文章介紹氣化系統在面對新世代製程的需求下，對化學研磨液線上雙氧水濃度測量穩定性的改善。文章針對自動滴定儀(ATRS)的三大儀器架構進行改良，包括取樣元件、滴定元件和反應槽各自的缺點。
經過實驗討論...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文
Innovation in Slurry In - line H2O2 Detection
研磨液之雙氧水即時量測技術進化
文 | 趙培辰 | 南科廠務五部 |
本文主要分析雙氧水滴定儀使用上之問題，針對六向閥和螺桿組進行新概念設計、硬體改造，以及軟體計算進行驗證和優化，包含將滴定儀用作定量的六向閥移除，改由閥件之滯吸力進行定量，並將定量管拉出毛細管，強化管內的附著力，避免...

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