Vol.18 / 技術專文
N16 & N20 Product Yield Improvement Technology:XCDA New Application
16/20奈米提高良率技術XCDA新應用
壓縮乾燥空氣CDA(Compressed Dry Air) 在半導體廠扮演著非常重要的角色,幾乎半導體廠內的每台設備機台都需要使用到CDA。300mm晶圓廠甚至以CDA再經過純化器(Purifier) 過濾大氣中的...

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Vol.06 / 特別企劃
i-ASC Air System Controller for Power Saving
節能指揮家 i-ASC
本文由離心式空氣壓縮機的工作程序切入主題,利用十二廠的實際運轉狀況針對耗電量大的廠務單元系統進行改良,藉由ASC (Air system controller )系統的導入讓空壓機生產穩定性與效率能夠提升 ; 另一...

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Vol.02 / 特別企劃
Energy Savings in Semiconductor Fabs
半導體廠房之節約能源策略

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