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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
文 | 韓兆祥 | 謝佳霖 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 |
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中，此類發火性物質大部份兼具禁水特性，於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範，針對使用發火...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文
A Study on The Safety Defense of Silane System
矽甲烷供應系統安全防禦之實務探討
文 | 何重億 | 南科廠務二部 |
矽甲烷具有自燃之化學性質，矽甲烷供應系統各方面之安全防禦顯得格外重要，此物質已被許多供應商及使用者作為技術研究之主題，包含供應架構、鋼瓶結構、工安事件等，本文整合業界技術研究與實際運轉經驗，探討降低矽甲烷外洩之實務...

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