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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Nitrogen oxide reduction strategies in advanced fabs
先進廠區氮氧化物減量策略
文 | 羅英秦 | 新廠設計部 | 黃信瑋 | 台南廠務六部 |
半導體在製造晶圓的過程中，經常使用大量的「全氟烷化合物」(Perfluorinated compounds, PFCs)，防治設備處理這類型污染物通常是利用高溫裂解使其與氫與氧離子(H+、O...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC
LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略
文 | 田麒鈺 | 新竹廠務五部 | 簡仲廷 | 新竹廠務五部 |
隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Burn Type Local Scrubber Decrease NOx Emission
現址式燃燒洗滌塔NOx減量
文 | 江昱慶 | 台南廠務八部 |
目前廠內現址式燃燒洗滌塔(Burn Type Local Scrubber)主要處理全氟化合物(PFC)，因其處理溫度較高，容易產生副產物-NOx，本文將以降低處理溫度及減少反應物兩方面探討，在符合廠內破壞去除效率...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing
綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數
文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |
雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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