Facility Systems Supply Parameter Change Management
落實廠務全面品質管理的關鍵議題–廠務變更管理
在晶圓廠中廠務系統所扮演的角色是提供穩定、有品質的物料(SDS、CDS、 GAS)供機台設備製造晶圓使用；因此，提供穩定而有品質的物料是廠務永遠追求的目標，而關鍵點就在於系統機台的參數設定，參數的設定失真會影響到物料的輸...
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