Vol.49 / 技術專文
During the construction of the plant, the pre-planning of monitoring the soil and groundwater contamination at the TPH polluted site
新建工程總石油碳氫化合物污染場址土壤與地下水事前規劃及建廠中監測流程
此研究以受TPH 污染之場址進行健康風險計算,評估場址地下水污染潛勢後續效益對建廠及成廠之影響,並從健康風險評估的角度;應用美國試驗及材料協會所發展之「風險基準矯正行動」準則,量化各環境介質、關切化學物質與暴露人體...

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Vol.32 / 技術專文
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估,結果多為未檢出,且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物,必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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Vol.32 / 技術專文
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中,此類發火性物質大部份兼具禁水特性,於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範,針對使用發火...

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