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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Slurry Quality defense-SDS On-type Drum IQC
品質把關-化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗
文 | 孫聖哲 | 新竹廠務六部 |
化學研磨供應系統的原液直供型系統對於原物料品質監控的防禦機制不足，當物料異常時只能在供應桶槽量測時才能發現，但此時已經供應至機台端造成線上影響。故本篇對原液直供型系統以現有系統架構新增原物料桶品質量測機制，當原物料...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
SDS load cell mixing function upgrade and improve the mixing quality
SDS load cell混酸架構升級與供應不停線之品質精進管理
文 | 廖孜康 | 新竹廠務六部 | 丘濟瑋 | 新竹廠務四部 |
隨著化學機械研磨製程(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)技術不斷演進，因應不同新製程需求轉變下，研磨液 (Slurry)新物料的開發數量持續提升，使得研磨液配方調整需求日益頻繁...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Improvement of Slurry Dispense System
化學研磨液供應系統的改善
文 | 孫聖哲 | 竹科廠務四部 |
隨著半導體產業日新月異的發展，整條製程產線上從化學品供應系統到設備機台都須不斷地強化更新。本篇著重在化學研磨液供應系統的強化。現今化學研磨液供應系統雖趨於成熟，但為了因應新物料的產生、使用者需求、更精準的品質以及強...

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