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2023.12, Vol.52 / 技術專文
The Assessment of Zero Liquid Discharge in Advanced Packing Process wastewater
先進封裝製程廢水零排評估與規劃
文 | 林俊凱 | 先進封裝廠務一部 |
隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater
製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃
文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |
半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

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