TSMC 廠務季刊

2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold

全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰

文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |

目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Selection of Water Proofing Method and Quality Verification for Water Tank

製程水箱防水施作工法的選定與品質驗證

文 | 趙婉宇 | 黃文彬 | 王世民 | 十二廠七期新建工程專案 |

有鑑於過去許多既有廠區之製程水箱皆採用彈性水泥防水工法，其日後水箱漏水情況持續發生，維修不易且麻煩；因此採用防水性更好的防水工法成為必要的趨勢。本文將舉出幾種常見之防水工法說明其工序與優缺點，並比較其中差異，最後再...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization

創新型空調冰水系統多核心分工節能設計及運轉最佳化

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 胡毓堂 | 吳孝修 | 三廠廠務部 |

本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Innovative Green Design of Inter-Fab Water Reuse Networks

創新綠色廠房跨廠區回收水網路節水構思

文 | 陳誠亮 | 國立台灣大學 | 李瑞元 | 國立台灣大學 | 洪詩雯 | 新廠設計部 |

This article aims to develop a general mathematical formulation for integrated design of inter-fab water ne...

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