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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution
高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用
文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |
廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development
新世代的廢硫酸回收處理系統開發
文 | 吳世霖 | 綠色製造部 |
目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...

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