The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs waste-heat recovery
以氣提法進行IPA廢水改善評估與VOC廢熱回收展望
半導體製程在晶圓清洗及乾燥程序中使用大量的異丙醇(IPA)，因其有機溶劑揮發特性及製程排放廢水衍生丙酮，對各廠區空水污影響甚鉅。半導體廠房因次級用水之回收水量與水質需求，常見以RO膜進行廢水濃縮精煉處理，但經過精煉而產出...
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