Vol.52 / 技術專文
Innovative management strategies for water systems in the new generation of manufacturing processes
新世代製程之水系統創新管理對策
本文累積過往新成廠經驗,水處理系統在這些過程中遇過許多挫折但也因這些經驗,逐步強化水處理系統防禦機制,發展出一套管理方法,面對快速成廠的過程中,面臨系統尚未完成建置,需逐步與設備協調其純水與化學品洗淨的總量管制,在...

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Vol.48 / 技術專文
Source management and reduction of Wastewater Management Indicator "Acetone" in Advanced Process Plants
先進製程廠區污水納管指標「丙酮」之源頭管理與減量對策
自2021年5月21日起科管局將放流丙酮列為管制項目(<5mg/L),並將其劃分為三個級距徵收污水費,其中廠區因製程原料廢水中異丙醇(晶圓乾燥使用)與氧化劑(雙氧水居多,作為晶圓清洗使用)反應產生丙酮,導致放流水丙...

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Vol.27 / 技術專文
Effluent Reclamation-Optimization in Operation of Process Pilot
工業再生水研發─ 回收模廠運轉最佳化
再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年11月導入晶圓工廠排放廢水,成功克服原水高濃度TOC,然處理流程複雜及運轉成本較高;我們完成高難度的晶圓廠排放廢水,接著最終目標是處理南科放流水,從中找出流程簡化且兼...

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Vol.18 / 技術專文
Effluent Reclamation - Application of Advanced Oxidation Process
放流水再生利用 - 高級氧化法(AOP)的應用
放流水再生利用的關鍵技術是去除放流水中有機物,尤其是低分子量有機碳氮,使再生水水質達到相當於自來水水質低分子量有機物(含尿素)含量水準。 高級氧化法(AOP)是種新的水處理方法,利用氫氧自由基(OH.)的強氧化力,...

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