Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
三廠原始空污處理系統無設計備援機制，各區域僅要求維持負壓，後期為維持負壓，擴充時僅考慮管路串並聯混接，且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜，增加系統穩定運轉困難度...
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