TSMC 廠務季刊

2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 14A Annual Maintenance Report and Replace UPW Main Pipeline

Fab 14A 年度維修報告與純水主管路更新經驗分享

文 | 梁進添 | 侯銘凱 |

F14P12 廠務依電力系統歲修規範，在8 月2 日06:00 ~ 20:00 執行低壓電力系統歲修保養，期間維持廠務系統in spec. 運轉，並進行 1/3 低壓電力設備保養，影響工廠共計 435 台機台，救援...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller

冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用

文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |

廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable

分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統

文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |

透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Facility General Meter Setup and Application

廠務常用儀表安裝與選用

文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |

製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Online Monitoring AC/DC Capacitors Ageing of UPS

不斷電系統電容器老化在線監測及本質壽命評估

文 | 沈禎道 | 新廠設計部 |

UPS應用於廠內電力敏感設備的防護已行之有年，在平時運轉中，時有因內部異常導致UPS切換，雖然大部分的切換對下游負載並無影響，但有時仍會影響負載或引發更大的電力事故。本文統計歷年UPS異常原因，發現電容器異常佔內部...

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2011.4, Vol.02 / 特別企劃

Energy Savings in Semiconductor Fabs

半導體廠房之節約能源策略

文 | Andreas Neuber | Applied Materials, Inc. |

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