Vol.45 / 技術專文
IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room
IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布
近年來物聯網技術發展越趨成熟,與半導體產業相輔相成,電晶體到了21世紀,製程已達到奈米等級,大幅降低功耗,而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素,因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手,也...

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Vol.39 / 技術專文
Visual Management for AMC Concentration Map
AMC濃度分布圖之視覺化管理
半導體製程之快速演進,氣態分子污染物(Airborne Molecular Contamination, AMC) 對於半導體廠的製程良率具有顯著影響,普遍於機台清潔與晶圓清洗製程或自廠排放及外氣蓄積進入FAB,造成環境...

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