Application of Demister in Removal Performance Enhancement of Inorganic Acid and Base in Scrubber
水力薄膜應用於洗滌塔中 無機酸鹼去除效率之探討
半導體製程中經常使用到大量的有機溶劑及化學酸鹼溶液，部分化學物質會經由揮發或者高溫霧化而被排氣系統所收集至中央洗滌塔處理後排放，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出排氣風管結晶與煙囪排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾...
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