TSMC 廠務季刊

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2018.9, Vol.31 / 技術專文

文 | 周劻輝 | 南科廠務五部 |

隨著法規納管標準漸趨嚴謹，半導體製程中廣泛使用氨水及硫酸，造成排放廢水含有高濃度氨氮以及廢硫酸廢棄物。業界普遍以脫氣膜方式去除水中氨氮濃度，進而衍生產出硫酸氨廢棄物。故本文介紹利用氨氮系統參數優化調整及硫酸氨回流等...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

文 | 陳國蔚 | 中科廠務二部 |

降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

文 | 洪舜立 | 十二廠六期專案 |

液態氦氣供應系統能兼顧品質、供應來源充足、節能省碳及降低工作Loading等多重功效，本文說明液態氦氣供應系統與氣態氦氣供應系統之差異並對建立長期穩定的氦氣供應系統提出分析，藉此整合採購、廠務風險管理及製程同仁們的...

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