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2020.6, Vol.36 / 技術專文
Application of Supply Quality Check for Process Gas Materials - A Case of C3H6
製程氣體原物料供應品質監測實務應用─以丙烯為例
文 | 林其鋒 | 盧從智 | 南科廠務五部 氣化三課 |
檢視製程氣體供應系統可發現，特殊氣體原物料品質監測屬於品質把關較不足的一塊，目前運轉供應上僅能依靠廠商提供原物料檢驗報告及既有供應系統的鋼瓶壓力來檢視供應品質，若能導入高精度且能於供應鋼瓶上線前防守，定能提高整體供應系統...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文
On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach
低成本與高生產力的綠色製程 - 現場製氟技術
文 | 黃介然 | 新廠設計部 |
氟氣(F2) 已在半導體工業中廣泛使用多年，主要應用於製程設備反應腔室(Chamber) 的清潔，由於氟自由基(Radical) 可與沉積的薄膜(Si, SiO2, Si...

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