發表文章(9)

Vol.40 / 新象新知
Special gas rapid quality detection system
特殊氣體品質快篩系統
半導體先進製程不斷提升下,面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...

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Vol.31 / 技術專文
New Generation Chemical Coupler Booth Design
新世代化學品灌充口設計
隨著半導體製程持續演進,槽車化學品用量不斷被提高,化學品灌充作業人力也逐年上升;過去也曾因為外部環境品質影響,造成灌充前取樣量測不穩定。本文主要說明如何應用滑軌、氣壓缸與訂製夾具等動力元件於化學品灌充設備中,來設計...

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Vol.31 / 新象新知
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS),以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC),再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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Vol.27 / 技術專文
Drum’s Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum
桶裝化學品高效供酸新架構
因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題,如何設計一套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風險,已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化學品量身打造的高效率輸送及供應系統,藉由高...

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Vol.23 / 技術專文
Recycling Techniques for Inert Process Gases
惰性製程氣體回收技術
本計畫開發了一套惰性製程氣體回收系統,將半導體製程機台所排放出來含有大量高單價惰性氣體的製程廢氣加以收集,再回收給氣體供應商,以降低原物料成本。此套系統主要由一個低壓緩衝桶槽、一個高壓貯存桶槽、一組加壓幫浦及一個氣...

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Vol.18 / 技術專文
A Novel Gas Supply Technique with Stable Output Concentration: Application for the Gas with High Reactivity & Extreme Toxicity
一個新穎的穩定濃度供氣技術:高活性劇毒氣體的應用
乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體,其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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Vol.14 / 技術專文
Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System
低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用
低蒸氣壓氣體供應系統,會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定,且以機械式調壓閥調整壓力,調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因,並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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點閱 (68)
Vol.10 / 技術專文
On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach
低成本與高生產力的綠色製程 - 現場製氟技術
氟氣(F2) 已在半導體工業中廣泛使用多年,主要應用於製程設備反應腔室(Chamber) 的清潔,由於氟自由基(Radical) 可與沉積的薄膜(Si, SiO2, Si...

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Vol.05 / 樂活園地
A Travel Note of Mountaineering, Hehuan West Peak
登山的魅力 - 西合歡山紀行

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