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2021.12, Vol.44 / 技術專文
An Annoying Operation Problem : Regulator Clog in B2H6 Gas Cabinet -Root Cause Investigation and Possible Solution Evaluation
惱人的運轉問題 : B2H6氣櫃調壓閥阻塞-原因探討與解決方法評估
文 | 劉俊男 | 林郁賢 | 蔣竣光 | 林安助 | 台中廠務四部 |
5% B2H6/Ar氣櫃調壓閥受到B2H6粉末狀副產物阻塞，為一項常見且擾人的運轉問題。經文獻探與過去的經驗顯示副產物粉末可能來自於...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction
製程廢氣處理設備 阻塞改善與保養頻率有效減量
文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |
製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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