TSMC 廠務季刊

2021.12, Vol.44 / 技術專文

An Annoying Operation Problem : Regulator Clog in B2H6 Gas Cabinet -Root Cause Investigation and Possible Solution Evaluation

惱人的運轉問題 : B2H6氣櫃調壓閥阻塞-原因探討與解決方法評估

文 | 劉俊男 | 林郁賢 | 蔣竣光 | 林安助 | 台中廠務四部 |

5% B2H6/Ar氣櫃調壓閥受到B2H6粉末狀副產物阻塞，為一項常見且擾人的運轉問題。經文獻探與過去的經驗顯示副產物粉末可能來自於...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

A Study of Slurry Supply Quality during Stage Transfer from Advanced Process to Mass Production : A Case of WMG Slurry

先進製程轉量產之研磨液供應品質探討─以鎢金屬閘極製程研磨液為例

文 | 邱懷德 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

半導體製程中，積體電路的線路由微影顯像及光阻蝕刻的方式製造，線路的厚度則是藉由化學機械研磨(Chemical- Mechanical Planarization, CMP)的平坦化製程所控制。隨著製程線寬的微縮，CMP製...

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2020.6, Vol.36 / 新象新知

New Generation Particle Measurement Technique for Liquid Phase Chemical

新世代液相化學品微粒量測技術

文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

本文介紹一套由公司和工研院共同合作開發液相化學品微粒量測系統，又稱超級微粒量測儀(SuperSizer, SS)。有別於一般市面上常見的液體微粒計術器(LPC)僅能測至20 nm的微粒，且僅能提供4至5道粒徑區間的測值，...

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2018.9, Vol.31 / 新象新知

Development of the Quality Check System for Specialty Gases

特殊製程氣體之品質監測系統開發

文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 | 巫幸峰 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 |

本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS)，以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC)，再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Drum’s Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum

桶裝化學品高效供酸新架構

文 | 張育正 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題，如何設計一套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風險，已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化學品量身打造的高效率輸送及供應系統，藉由高...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

Recycling Techniques for Inert Process Gases

惰性製程氣體回收技術

文 | 劉俊男 | 十五廠六期新建工程專案 | 黃介然 | 新廠設計部 |

本計畫開發了一套惰性製程氣體回收系統，將半導體製程機台所排放出來含有大量高單價惰性氣體的製程廢氣加以收集，再回收給氣體供應商，以降低原物料成本。此套系統主要由一個低壓緩衝桶槽、一個高壓貯存桶槽、一組加壓幫浦及一個氣...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

A Novel Gas Supply Technique with Stable Output Concentration: Application for the Gas with High Reactivity & Extreme Toxicity

一個新穎的穩定濃度供氣技術：高活性劇毒氣體的應用

文 | 劉俊男 | 黃介然 | 新廠設計部 |

乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體，其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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2015.6, Vol.18 / 新象新知

The Green Energy with the Highest Potential in the Future - Hydrog

未來最具發展潛力的綠色能源：氫

文 | 巫幸峰 | 新廠設計部 | 劉俊男 | 新廠設計部 |

在飛速發展的科技下，現有石化能源的耗竭及所產生的污染已為人類不得不面對的問題。氫因具有乾淨、永續供應及高能量密度三大特質，使其成為目前最有發展潛力的替代能源。對半導體產業而言，氫氣也是一種相當重要的生產原料，隨著製...

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劉俊男 Chun-Nan Liu

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