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隨著半導體製程技術演進，面臨的挑戰也不斷變化。廠務作為工廠穩定運轉的基石，在滿足工廠多樣性新製程的需求外，也必須克服新製程帶來的環境衝擊。因此必須不斷創新改進、精益求精才能解決日新月異的製程及環境問題。 綠色製造理念深植於每位台積人心中，將其應用於系統設計與營運發展。減少對環境的影響，提倡再生資源利用率以及降低製造過程中的能源消耗和廢棄物。 不僅保護環境也符合持續性發展的長遠目標，兼顧公司對社會、環境、永續管理的責任。 創新發想是推動水氣化系統發展的原動力，我們必須思考如何透過技術創新解決製程問題且符合綠色製造理念。 包含打造永續運轉環境、優化系統參數減少廢棄物排放，尋找節能運轉方案達到循環經濟。 本期季刊網羅各廠區運轉專家共22篇精彩文章，圍繞著水氣化系統，說明如何透過創新設計、穩定運轉、全面翻新等解決各世代製程的疑難雜症，達到工廠運轉品質提升、降低生產風險、創造ESG永續管理與綠色製造。 總結來說，面對各世代製程的挑戰，水氣化系統更需要結合創新技術與綠色製造理念，從強化檢測品質、水質管理、改善工作環境、確保工廠的永續運營與穩定運轉，同時也強化企業對社會責任與環境保護的承諾。 希望透過經驗與學術傳承，激發更多創新思維，穩健基礎並持續精進與強化系統體質，讓廠務有如強力的後盾，在工廠製程演進的路途上扮演穩定運轉的基石。
莊子壽 Arthur Chuang | tschuang@tsmc.com
陳鏘澤 Tony Chen
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孫揚淂 YangTe Sun | YTSUNL@tsmc.com
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