TSMC 廠務季刊

2015.6, Vol.18 / 技術專文

文 | 呂佩真 | 新廠設計部 | 趙樹華 | 新廠設計部 | 市原史貴 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |

近年，隨著半導體裝置/元件(Device)的高度積體化，促使製造技術的細微加工化發展，線寬變得越來越狹窄。半導體製造領域的超純水，必須提供高純度的水質，特別是直接影響良率的微粒子(Particle)，其粒徑與濃度都...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

無塵室為晶圓廠生產的必要環境，高架地板提供無塵室內設備機台及人員操作生產的完整空間，為構成無塵室重要系統之一，因此高架地板品質檢測與驗證程序特別重要，以確認提供整體晶圓廠生產的標準環境。高架地板驗證程序包含：高架地...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

文 | 劉士豪 | 詮特科技公司 | 黃煒添 | 工程品質暨安全管理部 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

半導體產業之高潔淨金屬管線銲接，主要以氬銲(GTAW)為主，並已廣泛用於製程氣體管線銲接。本文針對金屬管線自動銲接原理、氬銲自動銲接種類、銲接實務與操作參數、銲接品質管理實務及銲道品質檢查等進行探討。...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

廠務系統如排氣（Exhaust）、製程冷卻水（PCW）、廢水（WWT）及超純水（UPW）中的轉動設備(主動振源)及其相對應之管線(被動振源)為廠房中的主要振動來源，因此有效控制廠務設備因機器振動傳遞到地面的振動力，...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

文 | 馮智賢 | 趙樹華 | 黃煒添 | 工程品質暨安全管理部 |

台積新建廠依國內外建築標準規範(TBC/IBC)，皆設有防火區劃，任何管線穿越防火區劃皆須依相關法規標準(CNS/UL/NFPA/FM)設置適當的防火阻隔元件或材料，其中廠務空調風管(HVAC MA)尺寸較大，若未...

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