TSMC 廠務季刊

2014.6, Vol.14 / 技術專文

文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |

半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

文 | 李玫 | 新廠設計部 |

以四甲基氫氧化銨(TMAH) 作為顯影劑，已廣泛使用在半導體業及光電產業等高科技產業，所產生之污染也因此與日俱增。TMAH廢液同一般鹼類具有腐蝕性，亦因製程之不同，不純物可能包含: 光阻劑、介面活性劑、重金屬陽離子...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

文 | 王義信 | 李玫 | 設計營建部 |

Heat pump乃是利用卡諾循環 (Carnot cycle)設計的一種熱機，而"熱泵"是由英文 Heatpump 翻譯而來，熱泵壓縮機利用吸收環境的熱能，不需燃燒，不產生二氧化碳及廢熱氣，可...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

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