AMC Source Identification by CFD Modeling in Cleanroom
潔淨室氣態分子污染物(AMC)污染源之預測方法
一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物(實驗或計算),再觀察汙染源擴散的情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室,通常我們只能觀測到結果,而無法得悉汙染物由何處而來,若擬求...
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