Design and Application of Upward Clean Air Circulation System
上回風潔淨循環系統的設計與應用
傳統FFU-DCC式之潔淨室設計,對於機台本身熱散逸至潔淨室所產生熱對流作用之上升氣流,容易與FFU向下送的潔淨循環氣流相撞後彼此產生干擾,迫使潔淨循環氣流無法達成有效的動量輸送,造成微粒滯留在潔淨室內;利用FDC...
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