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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution
高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用
文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |
廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
文 | 王紹宇 | 蔣竣光 | 劉俊男 | 台中廠務四部 |
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Chloride Sources and Reduction Strategies in Semiconductor Effluent Wastewater
半導體排放廢水氯化物來源與削減策略
文 | 姜東 | 上海廠務部 |
隨著國內半導體、光伏企業的快速發展，對純水的需求量與含氟廢水的處理量也大幅增加，由於大多企業使用鹽酸再生樹脂，氯化鈣處理含氟廢水，隨之而來廢水排放中氯離子濃度也居高不下。隨著環保法規日趨嚴格，對水中氯化物的濃度也有了明確...

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