文章分類

熱門關鍵詞

中文 | Keyword
首頁 / 分類閱讀 /
2023.12, Vol.52 / 技術專文
The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane
二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討
文 | 楊中星 | 郭冠良 | 台南廠務五部 |
二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成，化學式為SiH2Cl2，為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式：氣櫃直...

按讚

0

收藏

0
點閱 (40)
2020.6, Vol.36 / 新象新知
New Generation Particle Measurement Technique for Liquid Phase Chemical
新世代液相化學品微粒量測技術
文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |
本文介紹一套由公司和工研院共同合作開發液相化學品微粒量測系統，又稱超級微粒量測儀(SuperSizer, SS)。有別於一般市面上常見的液體微粒計術器(LPC)僅能測至20 nm的微粒，且僅能提供4至5道粒徑區間的測值，...

按讚

0

收藏

0
點閱 (59)