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2019.9, Vol.35 / 新象新知
Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control
自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測
文 | 蕭睿呈 | 南科廠務一部 | 林安祺 | 智能廠務管理課 | 朱晃民 | 南科廠務一部 |
半導體產業蓬勃發展，因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格，現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控，並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

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2018.3, Vol.29 / 新象新知
Dependable Companion Robots for Daily Inspection
談巡檢機器人於廠務運轉之應用
文 | 余宗賢 | 張書豪 | 中科廠務一部 |
廠務設備數量龐大且遍布整個廠區，僅靠傳統人力巡檢的管理模式，已無法完整涵蓋現今的工廠運作，當廠區規模為超大晶圓廠(GigaFAB)，更是需要投入大量人力；為此，導入巡檢機器人於廠房設備之日常運作，並針對廠區水、電、...

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