TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.

Salix應用於Polymer/PR Stripping之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與VOCs流向展望

文 | 蔡宗偉 | 台南廠務八部 | 廖家偉 | 台南廠務八部 |

Polymer/PR Stripping 濕製程使用Wet Bench常見的高溫硫酸(SPM)與NH4OH，並同時利用IPA洗滌Wafer表面，故在製程尾氣處理具有酸性氣體與有機物(VOCs)...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Application of a new technology for capturing wet bench process produced particles-wet electrostatic precipitator(Wet-EP)

濕式製程微粒攔截新技術應用(WET-EP)

文 | 林尚志 | 新竹廠務九部 | 田麒鈺 | 新竹廠務四部 |

本研究主要針對高溫硫酸清洗機台(HT-SPM)排放的廢氣進行改善，該設備除了化學品用量的增加外，從N16到N3風量也由2,400CMH增加到7,200CMH。這些廢氣中不僅含有大量的酸鹼氣體，更因酸鹼混排產生了大量...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System

廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術

文 | 王鄧安 | 中科廠務三部 | 陳博政 | 南科廠務六部 |

半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber

應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善細懸浮微粒研究

文 | 張聖杰 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction

高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用

文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |

近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction

排氣分流改造應用於粒狀物減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

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