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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Ultrapure Water Inspection Method for 10 nm
利用掃描式電子顯微鏡之超純水中的10奈米微粒子檢測技術
文 | 呂佩真 | 新廠設計部 | 趙樹華 | 新廠設計部 | 市原史貴 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |
近年，隨著半導體裝置/元件(Device)的高度積體化，促使製造技術的細微加工化發展，線寬變得越來越狹窄。半導體製造領域的超純水，必須提供高純度的水質，特別是直接影響良率的微粒子(Particle)，其粒徑與濃度都...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃
Using Welding Parameters, Empirical Rules and Critical Path Method to Manage the Installation of PVDF/PP Piping System in a UPW System
利用系統化的施工數據及要徑法，管理純水系統中PP及PVDF配管工程
文 | 丁瑞華 | 十二廠六期專案 |
利用系統化的施工數據分析及專案管理模式，管控純水系統專案中大量安裝之聚偏二氟乙烯管線 (polyvinylidene fluoride; PVDF) 及聚丙烯 (polypropylene; PP) 管線工程，使能...

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