Vol.44 / 技術專文
Prevention of chemical filter contamination
化學系統濾心污染防治
隨先進製程技術不斷推進,化學供應品質也面臨挑戰,偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源,以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚,又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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Vol.31 / 新象新知
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS),以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC),再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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