TSMC 廠務季刊

2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

按讚

0

點閱 (43)

2022.9, Vol.47 / 技術專文

Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer

無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理

文 | 張志宏 | 新廠設計部 |

半導體製程世代持續演進，製程對氣態分子汙染物AMC(Airborne Molecular Contamination)管控要求亦越趨嚴格及重視，如何有效控制無塵室內AMC品質便成為廠務運轉上的重要課題。以AMC要求...

按讚

0

點閱 (84)

2020.9, Vol.39 / 技術專文

ECP/B.S. Area IPA total solution and management

防微杜漸–ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制

文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |

隨著製程演進，製程對環境氣膠微汙染控制(AMC)品質要求更嚴格，以ECP/B.S.為例，環境異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)濃度控制目標值再下降75%，ECP/B.S.區IPA主要來源為外氣空調箱(...

按讚

0

點閱 (34)

2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Dynamic Energy Saving MAU

動態節能外氣空調箱

文 | 陳廷宇 | 徐家紹 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 |

公司在廠房設計階段，就已經將綠建築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的動態節...

按讚

0

點閱 (52)

2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU

淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用

文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |

節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

按讚

0

點閱 (58)

金筆獎入圍

2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

按讚

0

點閱 (77)

2012.10, Vol.08 / 技術專文

Influence of Intake Air Quality on Different Stack Design

煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響與設計

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 周政隆 | 新廠設計部 | 張寶額 | 工業技術研究院綠能與環境研究所 |

半導體廠房的建築物大多以平屋頂、大面積的設計為主，且製程廢氣的排放管道和進氣口也常因土地空間的限制而設置於廠房的屋頂。因此，新鮮空氣經由外氣進氣口導入到製程區和辦公區時，屋頂煙囪所排放之空氣污染物可能因煙囪高度不足...

按讚

0

點閱 (52)

2012.10, Vol.08 / 技術專文

MAU Air Washer Pump Flow Diagnosis and Improvement

外氣空調箱水洗加濕泵浦之流量診斷與改善方案

文 | 陳昭文 | 新廠營建部 |

外氣空調箱（Make-up Air Unit, 以下簡稱MAU）是提供潔淨空氣至無塵室，做為無塵室的濕度調整及減低室外空氣AMC濃度的重要設備，其中外氣水洗系統（Air Washer System）更是關鍵性設備，...

按讚

0

點閱 (45)

2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Introduction of Run-around Coil in MAU

外氣空調箱循環迴路盤管構型介紹

文 | 陳芳明 | 十五廠三期專案 |

針對無塵室高耗能的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit，以下簡稱MAU)進行節能改善，一直是廠務人員關注的焦點，在各式節能方案中，又以導入循環盤管(Run-around Coil，以下簡稱R...

按讚

0

點閱 (32)

文章分類

熱門關鍵詞