文章分類

熱門關鍵詞

中文 | Keyword
首頁 / 分類閱讀 /
2018.12, Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

按讚

0

收藏

0
點閱 (495)
2018.12, Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
文 | 李宗元 | 十二B 廠工安環保部 | 吳淑嫺 | 設備物質安全專案 |
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...

按讚

1

收藏

0
點閱 (338)
2018.12, Vol.32 / 技術專文
Safety Management for EUV Tool
超紫外光機台 全方位安全管理
文 | 曾威霖 | 十二廠工安環保一部 |
超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...

按讚

0

收藏

0
點閱 (234)