AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis
應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析
因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...
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