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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Nitrogen oxide reduction strategies in advanced fabs
先進廠區氮氧化物減量策略
文 | 羅英秦 | 新廠設計部 | 黃信瑋 | 台南廠務六部 |
半導體在製造晶圓的過程中，經常使用大量的「全氟烷化合物」(Perfluorinated compounds, PFCs)，防治設備處理這類型污染物通常是利用高溫裂解使其與氫與氧離子(H+、O...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC
LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略
文 | 田麒鈺 | 新竹廠務五部 | 簡仲廷 | 新竹廠務五部 |
隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia
放流水生物急毒性悠活水蚤的挑戰與對策
文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 |
現況廠內放流水之H2O2經由過氧化氫酶(Catalase)酵素的降解後，已使得脊椎生物TUa<1.43(Toxicity Unit Acute, TUa)之機率大幅提高，...

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