Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS)，以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC)，再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...
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