Vol.52 / 技術專文
Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization
循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略
2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液,2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造,其系統設計有部分不同,故在實務運轉之操作參數亦有差異;F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...

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Vol.30 / 技術專文
Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction
高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用
近年來PM2.5超過空氣品質標準,環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費,因應粒狀污染物減量趨勢,各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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Vol.26 / 技術專文
Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction
排氣分流改造應用於粒狀物減量
PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視,近年來PM2.5超過空氣品質標準,環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區,面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢,各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

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