TSMC 廠務季刊

2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer

無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理

文 | 張志宏 | 新廠設計部 |

半導體製程世代持續演進，製程對氣態分子汙染物AMC(Airborne Molecular Contamination)管控要求亦越趨嚴格及重視，如何有效控制無塵室內AMC品質便成為廠務運轉上的重要課題。以AMC要求...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文

ECP/B.S. Area IPA total solution and management

防微杜漸–ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制

文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |

隨著製程演進，製程對環境氣膠微汙染控制(AMC)品質要求更嚴格，以ECP/B.S.為例，環境異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)濃度控制目標值再下降75%，ECP/B.S.區IPA主要來源為外氣空調箱(...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold

全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰

文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |

目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Dynamic Energy Saving MAU

動態節能外氣空調箱

文 | 陳廷宇 | 徐家紹 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 |

公司在廠房設計階段，就已經將綠建築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的動態節...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU

淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用

文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |

節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

Applying the CO2 Sensors to HVAC System of Intelligent Office Buildings

智慧辦公建築空調系統之二氧化碳感測器應用探討

文 | 梁健政 | 公共設施服務部 |

本文介紹台積辦公建築的設備自動化管理系統（Building Automation System, BAS）於空調系統部份利用資通訊技術(Information and Communication Technolog...

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金筆獎入圍

2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications

溶液除濕空調與節能應用

文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |

傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文

Influence of Intake Air Quality on Different Stack Design

煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響與設計

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 周政隆 | 新廠設計部 | 張寶額 | 工業技術研究院綠能與環境研究所 |

半導體廠房的建築物大多以平屋頂、大面積的設計為主，且製程廢氣的排放管道和進氣口也常因土地空間的限制而設置於廠房的屋頂。因此，新鮮空氣經由外氣進氣口導入到製程區和辦公區時，屋頂煙囪所排放之空氣污染物可能因煙囪高度不足...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文

MAU Air Washer Pump Flow Diagnosis and Improvement

外氣空調箱水洗加濕泵浦之流量診斷與改善方案

文 | 陳昭文 | 新廠營建部 |

外氣空調箱（Make-up Air Unit, 以下簡稱MAU）是提供潔淨空氣至無塵室，做為無塵室的濕度調整及減低室外空氣AMC濃度的重要設備，其中外氣水洗系統（Air Washer System）更是關鍵性設備，...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Introduction of Run-around Coil in MAU

外氣空調箱循環迴路盤管構型介紹

文 | 陳芳明 | 十五廠三期專案 |

針對無塵室高耗能的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit，以下簡稱MAU)進行節能改善，一直是廠務人員關注的焦點，在各式節能方案中，又以導入循環盤管(Run-around Coil，以下簡稱R...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization

創新型空調冰水系統多核心分工節能設計及運轉最佳化

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 胡毓堂 | 吳孝修 | 三廠廠務部 |

本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Application of ASHRAE 52.2 Air Filter in USGBC LEED-NC

ASHRAE 52.2空氣濾網在美國綠建築LEED-NC的應用

文 | 呂坤福 | 研究專案部 |

由於國家政府及企業不斷的向外尋求資源或產品，在國際交通網路便捷性不斷的提昇下，跨國性貿易行為正蓬勃發展，從已開發國家、開發中國家並延伸至未開發國家。為確保合約雙方對產品品質及性能達成共識，共通標準遂應運而生，空氣濾...

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2011.7, Vol.03 / 新象新知

The Application of Ceiling Fans in Environmental Protection and Air Condition

自然風吊扇對綠色環保與空調舒適度之應用

文 | 林志勇 | 管采榕 | 公共設施服務部 |

在偶然的機會拜訪工研院綠能所討論室內空氣品質相關議題，會議快結束時工研院綠能所江政旭博士介紹會議室中安裝的另類產品－自然風吊扇。令我們驚艷的是在開會過程中幾乎沒有發現有風扇的存在，自然風吊扇吹出來的風與一般電扇相較...

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