To Etablish a Energy Management System for TSMC Semiconduct Manufacturing Process Tools
建構台積電製程機台能源管理系統
隨著半導體製程演進,不同世代的製程機台耗能行為也會因製程需求產生不同。透過本次研究目的在發展一個能一窺各種不同功能製程型式的用電行為,並發展一個製程機台耗能管理系統,本文也將對建構製程機台能源管理系統所需之低成本/低能耗...
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